【採択技術テーマ】
広領域真空計（薄膜ピラニ真空計）の商品化試作品の開発

薄膜センサはさまざまな応用分野が考えられる。従来の真空計は計器ごとに測定領域が限られていた。これを、1 つの計器で広い領域を測定できるようにしようと考えた。同社と産技研で、新たなセンサ材料を探すべく加工技術を模索した。

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